俄罗斯ZNTC完成130纳米光刻工具研发阶段
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俄罗斯ZNTC完成130纳米光刻工具研发阶段
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AI 综述
俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）完成了其首台130纳米制程光刻工具的第三阶段研发，该工具目前处于内部测试阶段，距离量产仍需数年。 这款用于200毫米晶圆的设备原型由白俄罗斯Planar公司开发，激光部分由Lassard提供。Tom's Hardware报道称，其单台成本约730万美元，相比2001年ASML的同类设备价格高出约88%。
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最新进展10月5日 18:50
俄罗斯企业完成国内首个130nm制程光刻设备研发，落后现代设备25年报道时间线
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10月5日
- Tom's Hardware俄罗斯企业完成国内首个130nm制程光刻设备研发，落后现代设备25年
俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）完成了国内首款支持130nm制程的200毫米光刻设备的第三阶段研发，该设备目前处于内部测试阶段，距离实际量产仍需数年。设备原型由白俄罗斯Planar公司负责开发，激光部分由Lassard提供，单台设备成本约730万美元，相比2001年ASML同类设备价格高出约88%。
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