Tom's Hardware· Anton Shilov ·· 3 小时前AI 评分30
俄罗斯企业完成国内首个130nm制程光刻设备研发，落后现代设备25年
Russian firm completes country's first 130nm-capable chipmaking tool, trails modern equipment by 25 years
AI 导读
俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）完成了国内首款支持130nm制程的200毫米光刻设备的第三阶段研发，该设备目前处于内部测试阶段，距离实际量产仍需数年。设备原型由白俄罗斯Planar公司负责开发，激光部分由Lassard提供，单台设备成本约730万美元，相比2001年ASML同类设备价格高出约88%。
来源：Tom's Hardware · tomshardware.com