朗道燧岩EUV光源样机工博会首秀，称距量产需3-5年
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朗道燧岩EUV光源样机工博会首秀，称距量产需3-5年
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朗道燧岩在2026年工博会上首次展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机，该公司称其国产化率达90%，但距离量产仍需3至5年时间。 当前主要挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性，以满足商用EUV光刻系统对数百瓦级别功率和高可靠性的要求。
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最新进展10月14日 15:16
朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年报道时间线
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10月14日
- IT之家朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年
朗道燧岩在 2026 工博会上首次展示 EUV 光源系统样机，国产化率达 90%，核心零部件多为自主研发。该样机技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产仍需 3 至 5 年。当前主要挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性，商用 EUV 光刻系统要求光源功率达数百瓦级别并具备高可靠性。
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