朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

朗道燧岩在 2026 工博会上首次展示 EUV 光源系统样机，国产化率达 90%，核心零部件多为自主研发。该样机技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产仍需 3 至 5 年。当前主要挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性，商用 EUV 光刻系统要求光源功率达数百瓦级别并具备高可靠性。