浙大团队发布硅-28硅烷特气与外延片成果
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浙大团队发布硅-28硅烷特气与外延片成果
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浙江大学团队在国内首次发布了硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片，填补了国内相关材料空白。 据IT之家报道，其硅烷特气化学纯度达99.99998%，硅-28丰度为99.99576%；外延片硅-28丰度为99.9937%，表明从气源到固态材料转化过程无显著同位素稀释。 该成果补齐了从特气到外延片的关键环节，为国内硅基量子芯片研发提供了国产衬底材料选项。
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最新进展10月22日 15:54
浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片：化学纯度达 99.99998%，填补国内相关材料空白报道时间线
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10月22日
- IT之家浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片：化学纯度达 99.99998%，填补国内相关材料空白
浙大团队在国内首次发布硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片，硅烷特气化学纯度达 99.99998%，硅-28 丰度为 99.99576%。外延片经检测硅-28 丰度为 99.9937%，表明从气源到固态材料转化过程无显著同位素稀释。该成果补齐了硅-28 材料从特气到外延片的关键环节，为国内硅基量子芯片研发提供国产衬底材料选项。
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