浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片：化学纯度达 99.99998%，填补国内相关材料空白

浙大团队在国内首次发布硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片，硅烷特气化学纯度达 99.99998%，硅-28 丰度为 99.99576%。外延片经检测硅-28 丰度为 99.9937%，表明从气源到固态材料转化过程无显著同位素稀释。该成果补齐了硅-28 材料从特气到外延片的关键环节，为国内硅基量子芯片研发提供国产衬底材料选项。