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美光称4F² DRAM无扩展路径,转向3D DRAM并规划新工艺

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AI 综述

美光在技术网络研讨会上表示,4F² DRAM因复杂度和成本问题缺乏可行的规模化路径,因此转向发展3D DRAM。 美光称,其第8代10nm级节点1ε将引入晶圆键合技术,第1代亚10nm级节点ζÅ将采用High NA EUV光刻,1δ工艺可带来约25%的存储密度提升并优化成本,将用于HBM5、vHBM等产品。

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报道时间线

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10月22日
  1. IT之家
    美光认为 4F² DRAM 无可行扩展路径,1ε 用晶圆键合、ζÅ 用 High NA EUV

    美光在技术网络研讨会上指出,4F² DRAM 由于复杂度和成本问题缺乏可行的规模化路径,转而选择 3D DRAM 作为未来发展方向。第 8 代 10nm 级节点 1ε 引入晶圆键合技术,第 1 代亚 10nm 级节点 ζÅ 采用 High NA EUV 光刻,1δ 工艺可带来约 25% 的存储密度提升并优化成本,将用于 HBM5、vHBM 等产品。

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