USHIO推出LED光源投影对准器并接受订单
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USHIO推出LED光源投影对准器并接受订单
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AI 综述
USHIO INC. 开始接受其新开发的UX-44101SCB和UX-45114SCB LED光源投影对准器的订单。 该设备采用LED光源，USHIO称其强度可与传统汞灯相当，支持4英寸、6英寸和8英寸晶圆，具备2μm至2.8μm分辨率及±10μm深景深。 USHIO表示，其无汞设计符合环保法规，适用于Bump和WLP等高精度层工艺，并可降低运行成本、兼容自动化流程。
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最新进展11月3日 23:54
接受订单：LED光源投影对准机 UX-4 系列报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
11月3日
- EE Times接受订单：LED光源投影对准机 UX-4 系列
Ushio 开发了采用 LED 光源的 UX-44101SCB 和 UX-45114SCB 投影对准机，实现与传统汞灯相当的强度。该设备支持 4 英寸、6 英寸和 8 英寸晶圆，具备 2μm 至 2.8μm 分辨率及 ±10μm 深景深，可兼容自动化流程并降低运行成本。其无汞设计符合日益严格的环保法规，适用于高精度层工艺如 Bump 和 WLP。
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