EE Times· USHIO INC.·· 3 小时前AI 评分19
接受订单：LED光源投影对准机 UX-4 系列
Accepting Orders for the LED Light-Sourced Projection Aligners
AI 导读
Ushio 开发了采用 LED 光源的 UX-44101SCB 和 UX-45114SCB 投影对准机，实现与传统汞灯相当的强度。该设备支持 4 英寸、6 英寸和 8 英寸晶圆，具备 2μm 至 2.8μm 分辨率及 ±10μm 深景深，可兼容自动化流程并降低运行成本。其无汞设计符合日益严格的环保法规，适用于高精度层工艺如 Bump 和 WLP。
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