尼康推出数字曝光设备DSP-110，计划2027年上市
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尼康推出数字曝光设备DSP-110，计划2027年上市
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尼康推出面向先进封装的数字曝光设备DSP-110，计划于2027年4月上市。该设备分辨率为1.5μm，相比前代DSP-100处理能力提升40%，每小时可处理72块面板，支持多种尺寸方形基板及300mm晶圆。 尼康称，该设备可通过更换光学系统支持1.0μm分辨率，以适应未来更先进的封装工艺需求。
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最新进展10月14日 16:20
尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市报道时间线
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10月14日
- IT之家尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市
尼康推出数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm（线宽 / 线距），计划 2027 年 4 月上市。该设备相比前代 DSP-100 处理能力提升 40%，每小时可处理 72 块面板，支持多种尺寸方形基板及 300mm 晶圆。设备可通过更换光学系统支持 1.0μm 分辨率，适应未来更先进的封装工艺需求。
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