尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市

尼康推出数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm（线宽 / 线距），计划 2027 年 4 月上市。该设备相比前代 DSP-100 处理能力提升 40%，每小时可处理 72 块面板，支持多种尺寸方形基板及 300mm 晶圆。设备可通过更换光学系统支持 1.0μm 分辨率，适应未来更先进的封装工艺需求。