Gigaphoton 推出新型氖气回收系统 hTGM，宣称回收率达 50%

Gigaphoton 推出用于 ArF 准分子激光器的氖气回收系统 hTGM，宣称回收率达 50%。该系统可减少每年高达 470 千升的氖气消耗，降低材料成本并减少对全球供应链的依赖。此前 Cymer 在 2015 年已实现相同效率，而日本另一家公司 Kanken Techno 最近展示了超过 90% 回收率的系统，预计将推动行业进一步提升回收能力。