Fraunhofer为IMS制造EUV光刻关键芯片组件
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Fraunhofer为IMS制造EUV光刻关键芯片组件
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德国弗劳恩霍夫硅技术研究所（ISIT）为奥地利IMS Nanofabrication公司制造用于极紫外（EUV）光刻机的多束电子束控制芯片，该组件对英特尔和台积电等公司的先进制程芯片制造至关重要。 EE Times报道称，该组件能控制数以万计的电子束，是生产先进芯片的关键部件。
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最新进展10月15日 18:54
欧洲在先进芯片制造中的隐秘角色：Fraunhofer 为 Intel 和 TSMC 提供关键组件报道时间线
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10月15日
- EE Times欧洲在先进芯片制造中的隐秘角色：Fraunhofer 为 Intel 和 TSMC 提供关键组件
Fraunhofer ISIT 为奥地利公司 IMS Nanofabrication 制造用于 EUV 光刻的多束电子束系统关键组件，该组件控制数以万计的电子束，对先进制程芯片制造至关重要。
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