华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

华洋精机与中国台湾地区半导体设备制造商蔡司合作推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm。该设备适用于 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域，已获得部分潜在客户的送样验证测试。设备结合配套模块可实现全自动化测量，满足先进制程对高精度测量的严苛要求。