海思光刻机11月集中交付 12寸/8寸/6寸齐发日本等国

江苏海思11月集中交付5台12寸全自动双面对准光刻机，3台采用FOUP天车自动上料方案，覆盖超表面光学、AR光波导等器件制程。同期交付4台8寸和5台6寸光刻机，分别用于MEMS传感器、化合物半导体及LED芯片领域，具备曝光均匀性和良率控制优势。该批次设备为国内微纳光学、MEMS产线提供国产化替代方案，减少对进口高端设备的依赖。